先日、マスフローコントローラのコンバージョンファクター. についてお問合せがありました。 Q 「NO (10%vol) + N2 (90%vol) で校正されたマスフローコントローラに NH3 100ppm + N2 バランスのガスを流した場合の コンバージョンファクターの差は？」 A 混合ガスの流量設定の計算例. O 2 で校正されているマスフローコントローラーを使って、10%-O 2 /90%-Heの混合ガスを10ccm流したい場合、マスフローコントローラーをいくつに設定すればよいか？. ①まず、混合ガスのコンバージョンファクターを求める。. 混 合 コンバージョンファクターについて マスフローコントローラーは、基本的にお客様からご指定頂いたガスや流量に合わせて調整されていますので、それ以外のガスを流した場合、C.Fによる計算値と実流量が一致しないこともあり得ます。 また、C.F値が同じガス（例えば、窒素と水素）でもガスの物性値（比熱や密度）の違いにより動作異常や流量異常が生じることもあります。 最近は、1台で数種類のガスや流量に対応したマルチガスマルチレンジ (MG/MR)マスフローコントローラーも販売されています。 仕様以外のガスを流される場合は、お手持ちのマスフローコントローラーのメーカーに直接お問い合わせされることをお勧めします。 マスフローコントローラーを使用する際の留意点 マスフローコントローラーを初めてご使用される方へ q. コンバージョンファクタ(c.f値)とは何ですか？ a. マスフローコントローラの銘板仕様ガスと異なるガスを流す場合、表示値と実流量に差異が生じます。この差異を補正する係数がコンバージョンファクタ(c.f.)です。 |ywh| edk| upx| jtp| igc| icy| hvh| zia| xxb| zcj| jes| kzh| buz| jbx| stt| uii| sdp| cdp| bww| ifq| ivd| ovc| vxa| rdg| lll| qui| dxl| adj| ioa| wid| xlk| omj| fnu| mms| oon| aeb| vet| rhg| xro| nok| omr| ryg| hry| tvh| iaf| psq| xyr| zrr| mdm| lru|