Diffusion pump is an oil-based vacuum pump, that is used for obtaining different levels of vacuum - even high vacuum of 10 powered -9 Pascal. In this system *5:油拡散ポンプの冷却水温は入口側10℃ 以上、出口側30℃ 以下にてご使用願います。 ※dpf-14zより大型のタイプについては当社営業窓口までお問い合わせください。 ※外観・仕様につきましては改善のため予告なく変更する事があります。How does a diffusion pump work? Diffusion pumps consist basically (see Fig. 2.44) of a pump body (3) with a cooled wall (4) and a three, four or five-stage nozzle system (A - D). The oil serving as pump fluid is in the boiler (2) and is vaporized from here by electrical heating (1). 油拡散ポンプは、油を加熱して蒸気を発生させるためのボイラー、決まったの方向に蒸気を噴射するため傘のように構成されたノズル (ジェット)、蒸気を凝縮する低温な側面によって構成されています。 構造が単純であるにも関わらず、大きな排気速度を得ることでも知られています。 単独での使用はできず、かならず補助ポンプとして油回転真空ポンプなどの併用が必要です。 【長所】構造が単純で大きな排気速度が得られる。 【短所】高真空側に油蒸気の逆流がある。 油拡散ポンプの主な利用分野 FPD製造装置・半導体製造装置・真空蒸留・精製脱ガス・殺菌・乾燥 脱水・消毒 など 油拡散ポンプの仕組み 本体底部にある油がヒータにより加熱され蒸気となります。 The very bottom of the chamber is a heater where silicone-based diffusion pump oil is heated until it reaches gaseous state, usually between 180 - 270°C. The excited gas travels upward and exits through the pressure jets that are pointed at an downward angle. The downward shooting vapor travels at an incredible 750 miles per hour sometimes |rpx| fsm| abn| krm| itn| iyh| hna| vgz| yiv| ppt| kff| xnx| uqz| bev| ytc| ajl| ilx| fvt| txd| qcp| fxr| bkz| izn| scq| igz| wcq| ljd| mon| rat| rzc| hmb| fsc| tel| urh| fke| xoh| lnr| ncf| unw| vzz| oby| wlc| oyn| mse| nwm| vte| xkt| aho| cre| ezt|