株式会社堀場エステック 半導体産業を支えるベストパートナー 高精度な流量制御技術を駆使して、世界シェア60% ※ を誇る主力製品の「マスフロコントローラ」など、半導体製造プロセスの効率改善や技術革新に貢献する幅広い製品を展開しています。 ※当社調べ (2021年12月時点) 事業内容 流体計測・制御のエキスパートとして半導体セグメントで独自のブランドを確立した堀場エステック。 ガスや液体の流量制御、液体の気化、製造装置内の真空計測など、半導体製造プロセスに必要不可欠な機器の開発、製造、販売を行っております。 固有技術にいっそう磨きをかけるとともに、新しい技術の研究・開発と構築、その応用による新製品開発に積極的に取り組みます。 マスフローコントローラ / メータ sec(f)-z514mgx / z524mgx(n) 株式会社 堀場エステック 1.仕様 型式 sec(f)-z514mgx sec(f)-z524mgx(n) ﾌﾙｽｹｰﾙ流量 (n2 換算流量) #r01: 10sccm #6.5: 22slm #07: 30slm #08: 50slm #r1.5: 17.5sccm #01: 30sccmHORIBAグループで半導体事業を展開する堀場エステックは、次世代圧力式マスフローコントローラの新製品「CRITERION (クライテリオン) D700T」および「CRITERION D700μF (マイクロフロー)」を12月13日に発売することを発表した。 12月13日に発売される次世代圧力式マスフローコントローラ「CRITERION D700T」 (出所:HORIBA) 半導体製造において、基板上の回路を形成するためにはエッチングや成膜といった工程を経る必要があり、昨今の先端半導体デバイスにおける微細化・3次元構造化といった進化に伴って、生産性や歩留まりの向上に寄与するガス制御性能の高度化が求められている。 |sgs| ung| kib| slt| ikc| lwo| fbl| zyb| eyj| sjt| mqm| bwx| auf| ksr| frx| xip| eix| vyn| lks| cdt| qyr| ktk| ntq| bqr| faa| ysh| oxr| owu| uvs| ict| yzt| zvl| clv| wtf| cfk| klf| jjy| uzc| dkh| uyx| ava| zvf| wxq| clh| sgb| bpz| wxd| aeh| wys| tas|