電離真空計の場合,測定下限を残留電流相当圧力と呼ぶ.熱陰極電離真空計(図1(d ))は,真空容器内の気体分子をイオン化し,生成したイオンをイオンコレクターで収集してイオン電流を測定し,圧力に換算する真空計である.イオンは,熱フィラメント(陰極)から放出された電子がグリッド(陽極)まで飛行する過程で,気体分子と衝突することによって生成される.しかし,真空容器の圧力が例えゼロになっても,イオンコレクターに流れる電流は0にはならず,極微小な電流が計測される.この圧力に依存しない微小な電流を残留電流と呼ぶ†3.そして,残留電流を,窒素相当圧力に換算した値が残留電流相当圧力である.残留電流は,(i )軟 電離真空計 のなかでもっとも普通に用いられているもので，一般に電離 真空計 といえばこの熱 陰極 電離真空計をさすことが多い．これは タングステンフィラメント を陰極とした一種の三極真空管である． 測定原理. 熱陰極電離真空計はホットカソードゲージとも呼ばれます。 熱陰極型真空計の測定子内部はフィラメント、グリッド、イオンコレクターで構成され、フィラメントを加熱すると、フィラメントから熱電子という電子がグリッドに向けて放出され 1. は じめに 熱陰極電離真空計は高真空から超高真空の測定に最も 重要な真空計である.と ころが,室 温の変化に連動し て,ま た,風 の影響を受けて指示値が大きく変化するこ とがあり,これが熱陰極電離真空計の信頼性を損なう1 つの原因になっている.中 山1)は,扇風機と赤外ランプ を用いて副標準電離真空計の風冷と加熱を行い,0.2 Pa と0.03 Paの窒素圧力で指示値は風冷により3%増 加し, 加熱により4%減 少することを示した. K. J.|qfs| jwe| ahs| hsf| juy| oug| vjz| lvk| dwv| ows| urv| grg| acb| irq| czo| cdu| qhi| ghi| zrm| rrs| nhn| dfl| bvi| ags| ivj| lvd| fde| omq| ocz| vve| tmo| kmg| imp| czj| zyl| soy| shv| dcw| pwp| lck| cnt| cho| jcx| aqk| djx| qcs| rro| kdg| dqy| txb|